SEM5000Pro（G2）场发射扫描电镜以稳定可靠，易用增效为核心设计理念，致 力于让各类实验室拥有场发射级的观测能力。设备集优异的超高分辨率与长期运行的稳定性于一体，无论是在先进纳米材料的微观结构表征，还是在高端半导体的研发与制造中，均能稳定提供高质量的成像数据，充分满足科研机构与工业质检平台的应用需求。
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优化镜筒设计，色差降低12%，球差降低20%，综合像差锐减30%，显著提升了呈现样品微观细节的能力，为客户还原高保真的真实微观形貌，确保精密表征与尺寸量测的准确性。
高分辨率成像
扫描电镜中的双减速系统（也称为串联减速技术，Tandem Decel）是一种先进的电子束能量控制技术，它将镜筒内减速和样品台偏压减速两种方式相结合，解决了传统低电压成像中 "分辨率下降" 与 "荷电效应 / 样品损伤" 之间的矛盾，实现了极低电压下的高分辨率成像。
镜筒内减速系统
使用镜筒内电子探测器，200 V低压下实现对干法隔膜，实现结构的形貌表征。
双减速系统
镜筒内减速+样品台减速 使用镜筒内电子探测器，200 V低压下对湿法隔膜，不喷金实现结构的形貌表征。
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